摘要：低溫共燒陶瓷(LTCC)技術是實現電子設備小型化、高密度集成化的主流技術手段,可適用于耐高溫、耐受惡劣環境下的特性要求。介紹了LTCC差分電容式加速度計結構,敏感質量塊和4根懸臂梁結構都內嵌于LTCC多層基板,質量塊和上下電容板之間通過印刷電極組成差分電容對。重點討論了微機械式LTCC基加速度計的工藝制造方法及其面臨的工藝問題,實現了多款內埋質量塊結構的LTCC電容式加速度計制造。