基于MACE的大面積單晶硅基納微米結構陣列太陽電池研究
作者：黃增光; 高錕; 王曉剛; 孫慶強; 宋曉敏; 沈文忠 淮海工學院理學院; 江蘇連云港222005; 上海交通大學物理與天文學院; 上海200240; 上海交通大學太陽能研究所; 上海200240
摘要：通過采用常溫、簡單、成本低且與產線完全兼容的金屬輔助化學刻蝕方法（MACE）,在太陽電池正面制備硅納米線、硅納微米復合結構以及硅倒金字塔等結構,并且采用不同的鈍化方式對太陽電池正面和背面實施鈍化,以期提高器件的光學和電學性能.結果表明,在原子層沉積（ALD）的氧化鋁對單晶硅納微米結構上,同時實現了最低的光學減反（1.38%）和最低的表面復合速率（44.72cm/s）,基于該結構的n型太陽電池最高轉換效率達到21.04%.同時,制備出了光電轉換效率為20.0%,PECVD-SiO2/SiNx疊層鈍化的標準太陽電池尺寸的p型硅基納微米復合結構太陽電池器件.進一步研究顯示為一種新型硅倒金字塔結構陣列,具備更優異的光電性能.這些基于MACE的納微米結構陣列太陽電池顯示出在新一代高效太陽電池方面的極強競爭力.
注：因版權方要求，不能公開全文，如需全文，請咨詢雜志社。
淮海工學院學報雜志
淮海工學院學報雜志， 季刊，本刊重視學術導向，堅持科學性、學術性、先進性、創新性，刊載內容涉及的欄目：基礎科學、機械工程、計算機與電子工程、化學工程、食品工科、土木工程、空間信息科學等。于1985年經新聞總署批準的正規刊物。
- 省級期刊
- 1個月內審核
