摘要:氮化鋁陶瓷具有高導(dǎo)熱率、高溫絕緣性和優(yōu)良介電性能、良好耐腐蝕性、與半導(dǎo)體Si相匹配的膨脹性能等優(yōu)點(diǎn),是理想的電子封裝散熱材料。本文對氮化鋁陶瓷粉體制備、成型工藝、燒結(jié)等方面的關(guān)鍵技術(shù)做出了總結(jié),其中著重總結(jié)了氮化鋁陶瓷燒結(jié)方面的技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀。最后對高導(dǎo)熱氮化鋁陶瓷制備技術(shù)進(jìn)行了展望。
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