980nm高功率DBR半導(dǎo)體激光器的設(shè)計(jì)及工藝
作者：喬闖; 蘇瑞鞏; 李翔; 房丹; 方鉉; 唐吉龍; 張寶順; 魏志鵬 長(zhǎng)春理工大學(xué)理學(xué)院高功率半導(dǎo)體激光國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 吉林長(zhǎng)春130022; 中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所; 江蘇蘇州215123
摘要：設(shè)計(jì)并制作了非對(duì)稱(chēng)大光腔波導(dǎo)結(jié)構(gòu),利用分布布拉格反射技術(shù),實(shí)現(xiàn)了980 nm波段高功率半導(dǎo)體激光器的穩(wěn)定輸出。在實(shí)驗(yàn)過(guò)程中,采用電子束光刻技術(shù),結(jié)合感應(yīng)耦合等離子刻蝕工藝,利用SiO2作為硬掩模,并通過(guò)減小Ar離子的束流來(lái)減弱刻蝕過(guò)程中由于物理轟擊作用對(duì)SiO2硬掩模的消耗,制作出形貌良好、周期為890 nm、占空比為50%的分布布拉格反射器光柵;采用脊型波導(dǎo)激光器的制作工藝,成功制作出分布布拉格反射激光器,當(dāng)器件注入電流15 A時(shí),該激光器的輸出功率高達(dá)10.7 W,斜率效率為0.73 W/A,器件閾值電流為0.95 A,中心波長(zhǎng)為979.3 nm。該研究為GaAs基DBR半導(dǎo)體激光器的制作與研究提供了新思路。
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